潔凈室內(nèi)的氣流是左右潔凈室功能的重要要素，一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機器等的動作而干擾趨于紊亂、雖進步風(fēng)速可抑制此一打亂之影響而堅持 潔凈度、但因風(fēng)速的進步，將影響作業(yè)成本的添加，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時，能以.適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供給，以到達適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供給以到達經(jīng)濟性效果。 

另一方面欲到達潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之堅持亦為一重要要素，均一氣流若無法堅持，表明風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發(fā)作渦流效果，此時要實現(xiàn)高潔凈度事實上很困難。

垂直層流式方向要堅持均一氣流必須：(a)吹出面的風(fēng)速不行有速度上的差異；(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不行有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)作，而0.5m/s之速 度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。 

影響潔凈室的氣流要素很多，如制程設(shè)備、人員、潔凈室拼裝材、照明用具等，一起關(guān)于出產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點，亦應(yīng)列入考慮要素。 

一般操作臺或出產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員作業(yè)時，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點裝備在制程區(qū)前方，將成為 不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，此時大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵土將被帶到設(shè)備后邊，作業(yè)臺因而將遭到污染，良率也勢必下降。 

潔凈室的潔凈度往往遭到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵土之移動、分散遭到氣流的分配。 

潔凈室系使用hepa、ulpa過濾空氣，其塵土的搜集率達99.97~99.99995%之多，因而通過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)作的塵土一旦分散， 即無法堅持潔凈空間，因而必須使用氣流將發(fā)作的塵土敏捷排出室外。 

潔凈室內(nèi)的作業(yè)桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)作，相對地在其鄰近之潔凈度將會較差，在作業(yè)桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少.低；拼裝資料之挑選是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善，亦為 氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要要素。